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變壓吸附空分制氧始創于20世紀60年代初(Skarstrom, 1960; Guerin de Montgarenil & Domine, 1964)，并于70年代實現工業化生產。在此之前，傳統的工業空分裝置大部分采用深冷精餾法(簡稱深冷法)。

80年代以來至今CaX和LiX等高吸附分離性能的沸石分子篩的相繼開發利用和工藝流程的改進，使得變壓吸附空分技術得到迅速地發展，與深冷空分裝置相比，PSA過程具有啟動時間短和開停車方便、能耗較小和運行成本低、自動化程度高和維護簡單、占地面積小和土建費用低等特點。在不需要高純氧的中小規模(小于100噸/天，相當于3000Nm3/h )氧氣生產中比深冷法更具有競爭力。廣泛的應用于電爐煉鋼、有色金屬冶煉、玻璃加工、甲醇生產、炭黑生產、化肥造氣、化學氧化過程、紙漿漂白、污水處理、生物發酵、水產養殖、醫療和軍事等諸多領域(楊,1991; Kumar, 1996; Jee, Park, Haam & Lee,2002)。

四十多年來變壓吸附空分制氧技術的研究進展主要表現在兩個方面:一是空分制氧吸附劑和其吸附理論的研究方面，二是空分制氧工藝循環過程的研究方面(Sircar,1994;Ruthven.Farooq&Knaebel, 1994)。國內對這項技術的研究盡管起步較早，然而在較長的一段時間內發展相對較緩。直至進入九十年代以來，變壓吸附制氧設備的優越性才逐漸被國人認可，近幾年各種流程的設備相繼投產為各行各業帶來了巨大的經濟效益。